一、小流量氣體質(zhì)量流量傳感器-FSG4000系列主要特性：
1）傳感器靈敏度高，有極小的始動(dòng)流量
2）傳感器芯片采用熱質(zhì)量流量計(jì)量，無需溫度壓力補(bǔ)償，保證了傳感器的高精度計(jì)量
3）在單個(gè)芯片上實(shí)現(xiàn)了多傳感器集成，使傳感器的量程比大大提高
4）傳感器的零點(diǎn)穩(wěn)定度高
5）全量程高穩(wěn)定性
6）全量程高精確度和優(yōu)良的重復(fù)性
7）低功耗
8）低壓損
9）響應(yīng)時(shí)間快
二、小流量氣體質(zhì)量流量傳感器-FSG4000系列典型應(yīng)用： 
適用于小流量氣體質(zhì)量的流量測(cè)量。