R14 四氟化碳
用途：R14屬于超低溫制冷劑，可應用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及鎢薄膜材料的蝕刻，在電子器件表面清洗、太陽能電池的生產、激光技術、航天技術、金屬冶煉、氣相絕緣、低溫制冷等諸多方面大量使用。
中文名：四氟化碳，四氟甲烷，氟利昂14
CASNo.：75-73-0
分子式：CF4
含量：99.999%
熔點：-183.6℃ ，沸點：-128.1℃，液體密度：（-130℃）1.613g/cm3，臨界溫度：-45.67℃，臨界壓力：3.73MPa，臨界密度：7.1dm3/mol
包裝;R14采用48.8L/鋼瓶；10L/鋼瓶包裝