管式電阻爐
應用領域
RGDL系列真空氣氛管式爐廣泛用于高、中、低溫CVD工藝，例如：碳納米管的研制，試驗用碳纖維碳化、晶體硅板鍍膜、納米氧化鋅結構可控生長等等，也可用于金屬材料的擴散焊接及真空或氣氛保護下的熱處理。
主要特點
采用精煉石英管或高純剛玉管作為爐膛，可拆卸的密封方式，具有良好的潔凈度和真空度，耐火保溫材料全部采用先進的輕質纖維制品，整機質量輕、低能耗。加熱元件采用優質硅鉬棒、硅碳棒或進口電阻絲；溫度控制系統采用原裝進口智能多段程序溫度控制儀控制，具有良好的穩定性、均勻性。
技術指標
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設備型號
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RGDL(D)
2/80/44
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RGDL(Z)
1/60/30
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RGDL(G)
3/60/60
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RGDL(D)
1/50/70
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RGDL(Z)
2/30/60
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RGDL(G)
1/50/80
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溫區個數
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2
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1
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3
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1
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2
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1
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最高溫度
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1100℃
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1400℃
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1650℃
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1200℃
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1400℃
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1650℃
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加熱區長度
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440mm
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300 mm
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600 mm
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500 mm
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600 mm
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500 mm
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爐管尺寸及材料
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Φ80石英管
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Φ60剛玉管
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Φ60剛玉管
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Φ70石英管
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Φ60高純剛玉管
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Φ80高純剛玉管
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裝機功率
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5kw
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8kw
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18kw
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8kw
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10kw
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12kw
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備注：RGDL系列管式爐全部可以按照客戶要求通入各種惰性、還原性、反應性氣體，通過浮子流量計或質量流量計控制氣體通入量。同時還可以通過單機機械泵或真空機組預抽真空，系統具備冷態極限真空6.67×10﹣² Pa 。
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