光誘導力顯微鏡基于原子力顯微鏡平臺,通過外置激光以一定的頻率激發在探針和樣品上，探針和樣品因此受到誘導偶極。AFM探針可以通過頻率調制獲得樣品內部的電子能級變化，振動能級及轉動能級變化。再將頻率調制后得到的結果進行傅立葉變化，以獲得相應的紫外可見吸收光譜或紅外光譜。得益于探針的曲率半徑，其光譜的空間分辨率最大可達10nm。PiFM也能和拉曼光譜進行聯用，并具備散射式掃描近場光學顯微鏡功能。