特 點：
1.分辨率高，靈敏度高，抗干擾能力強，對試樣無破壞，實驗技術較為簡單，試樣的制備技術也不復雜
2.研究的對象可以是導體、半導體或絕緣體，試樣可以是晶體或非晶體態的體材料、薄膜或固體的表層，也可以是粉末、超細小顆粒，甚至是冷凍的溶液。
A.整體性能
1.等加速、等速、正弦、重點區四種驅動
2.速度范圍：±200mm/s
3.標準α－Fe內雙線寬≤0.24mm/s
B.探測器總成
1.氣體正比計數管、電荷前放、線性脈沖、放大器、高壓電源、低壓電源一體機
2.能量分辨率優于10%（14.4keV處）
3.穩定性好于±1%
C.數據采集系統
1.函數發生器
   正弦、三角、階梯波、人工設定波形輸出
   可驅動512/1024/2048/4096道多定標譜儀
2.多道分析器
   具有PHA、MSC、MSC(Window)功能
   道數：512/1024/2048/4096
   Wissel軟件，圖形界面
配 置：
儀器電源；信號發生器；電磁驅動器；鎖相放大器；X線探頭；電腦（自配）、打印機（自配）