分子式：HF 分子量：20.01
用途：應用于集成電路 ( I C)和超大規(guī)模集成電路 (VLSI)芯片的清洗和腐蝕 ,是微電子行業(yè)制作過程中的關鍵性基礎化工材料之一 ,還可用作分析試劑和制備高純度的含氟化學品。還可用于太陽能電池行業(yè)硅表面清洗、蝕刻。
| 電子級氫氟酸 |
| 級別 |
UPS級 |
UP級 |
EL級 |
| 項目 |
單位 |
指標 |
指標 |
指標 |
| 含量 Assay(HF) |
% |
49±0.5 |
49±0.5 |
49±0.5 |
| 氟硅酸（H2SiF6) |
ppm |
≤50 |
≤50 |
≤50 |
| 氯化物 (Cl) |
ppm |
≤5 |
≤5 |
≤5 |
| 硝酸鹽 (NO3-) |
ppm |
≤3 |
≤3 |
≤3 |
| 磷酸鹽 (PO43-) |
ppm |
≤1 |
≤1 |
≤1 |
| ***鹽和亞***鹽 |
ppm |
≤5 |
≤5 |
≤5 |
| 鋰 （Li） |
ppb |
≤1 |
≤10 |
≤100 |
| 鈉 （Na） |
ppb |
≤1 |
≤10 |
≤100 |
| 鎂 （Mg） |
ppb |
≤1 |
≤10 |
≤100 |
| 鋁 （Al） |
ppb |
≤1 |
≤10 |
≤100 |
| 鉀 （K） |
ppb |
≤1 |
≤10 |
≤100 |
| 鈣 （Ca） |
ppb |
≤1 |
≤10 |
≤100 |
| 鉻 （Cr） |
ppb |
≤1 |
≤10 |
≤20 |
| 鐵 （Fe） |
ppb |
≤1 |
≤10 |
≤100 |
| 鈷 （Co） |
ppb |
≤1 |
≤10 |
≤20 |
| 鎳 （Ni） |
ppb |
≤1 |
≤10 |
≤50 |
| 銅 （Cu） |
ppb |
≤1 |
≤10 |
≤20 |
| 鋅 （Zn） |
ppb |
≤1 |
≤10 |
≤50 |
| 鎵 （Ga） |
ppb |
≤1 |
≤10 |
≤20 |
| 鉬 （Mo） |
ppb |
≤1 |
≤10 |
≤100 |
| 銀 （Ag） |
ppb |
≤1 |
≤10 |
≤20 |
| 鎘 （Cd） |
ppb |
≤1 |
≤10 |
≤50 |
| 錫 （Sn） |
ppb |
≤1 |
≤10 |
≤20 |
| 鋇 （Ba） |
ppb |
≤1 |
≤10 |
≤100 |
| 鉑 （Pt） |
ppb |
≤1 |
≤10 |
≤100 |
| 金 （Au） |
ppb |
≤1 |
≤10 |
≤20 |
| 錳 （Mn） |
ppb |
≤1 |
≤10 |
≤20 |
| 鉛 （Pb） |
ppb |
≤1 |
≤10 |
≤50 |
| 鈦 （Ti） |
ppb |
≤1 |
≤10 |
≤10 |
