>> 技術(shù)參數(shù) 
 ◆ 外形尺寸(不包括報(bào)警燈)  
  1650(W)×1750(D)×2450(H)mm  
 ◆ 倉體結(jié)構(gòu)(不銹鋼，約1200升)  
  1003(W)×1270(D)×915(H)mm  
 ◆ 電極面積 (水冷垂直電極)
  1117.6(D)×609.6(H)mm ，13層 
 ◆ 等離子發(fā)生器(美國AE)  
  頻率40KHZ,功率0-10KW連續(xù)調(diào)節(jié),自動阻抗匹配,全電路保護(hù),可連續(xù)長時(shí)間工作 
 ◆ 控制系統(tǒng)  
  觸摸電腦+PLC全自動控制,采用歐姆龍、西門子等世界著名品牌電器元件，性能穩(wěn)定可靠,并具有手動、自動兩種模式  
 ◆ 真空系統(tǒng)(真空壓力PID閉環(huán)自動控制)  
  英國愛德華(ULVAC)爪式干泵   GV160 (160m³/h) 
  英國愛德華羅茨泵    EH1000(280L/S)  
  臺灣氣動真空角閥、充氣閥、DN40不銹鋼真空波紋管、德國英?？蹈呔日婵沼?jì)、傳感器 
 ◆ 充氣系統(tǒng)  
  美國MKS高精度電子質(zhì)量流量計(jì)(五路氣體配制)
  美國世偉洛克氣體管路及接口組件，德國雙級減壓閥  
  日本SMC及CKD高真空氣閥組件